漢微科董事長許金榮。 (聯合報系資料庫) 分享 facebook twitter pinterest 強敵壓境,
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,美商應材電子束檢測設備正式出貨給晶圓代工廠,
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,與股后漢微科(3658)短兵相接。應材台灣區總裁余定陸證實切入這塊領域,
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,且成本和檢測速度優於競爭對手,
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,有信心獲得客戶肯定。余定陸昨(21)日在應材年終媒體餐敘上,
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,證實應材Pro-Vision電子束檢測設備已出貨國內外晶圓代工客戶,
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,但礙於保密協定,
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,不針對客戶名稱及出貨機台做出評論。余定陸表示,
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,應材一直都有電子束技術,
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,但過去未應用在晶圓檢測,僅應用於其他量測領域,但目前已開發出設備,並有專責單位將電子束檢測設備導入客戶。他強調,電子束檢測過去因比光學慢,較少廠商著墨,但隨著邏輯晶片和記憶體步進入更先進製程,有些晶圓缺陷需要電子束檢測設備會更精準。他說,應材的電子束檢測設備已正式出貨,包括國內外客戶,但純粹是因應客戶有這方面的需求,不是要打壓台灣半導體設備廠。余定陸對今年半導體景氣看法樂觀,他認為,今年半導體晶圓廠設備支出有機會比去年提升,主要亮點是3D儲存型快閃記憶體(NAND Flash),主要記憶體廠持續擴充3D NAND Flash產能,在相關半導體設備的投資會優於去年。在晶圓代工方面,今年主要晶圓代工廠資本支出也會增加,預估有50%集中在10奈米FinFET(鰭式場效電晶體)。去年大概是晶圓代工支出的谷底,今年整體支出會優於去年,但預估會集中在下半年,對半導體設備廠而言,下半年營運會優於上半年。漢微科稍早法說會,針對應材切入這塊市場時指出,應材是切入不同應用。但應材卻強調會搶攻漢微科主攻的電子晶圓缺陷檢測市場,且成本和檢測速度都優於漢微科,受到市場關注。,